電子特種氣體是電子工業(yè)的“血液”，是半導(dǎo)體生產(chǎn)制造中不可或缺的關(guān)鍵性材料，同時也是集成電路制造中的第二大原材料，其占比僅次于硅片，占晶圓制造成本的13%。其在半導(dǎo)體產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、也將面板、LED及光伏等材料的“糧食“和”源”。

　　長期以來，沃飛科技一直助力中國半導(dǎo)體行業(yè)的穩(wěn)步發(fā)展，不僅提供先進(jìn)可靠的電子特氣創(chuàng)新產(chǎn)品，針對客戶流體系統(tǒng)中存在的棘手難題，提供全面的解決方案。沃飛科技現(xiàn)場工程服務(wù)團(tuán)隊多次在國內(nèi)電子特氣生產(chǎn)企業(yè)中開展過實(shí)地服務(wù)，幫助他們規(guī)避了許多生產(chǎn)隱患，提高了生產(chǎn)穩(wěn)定性、安全性。

　　那么，沃飛科技如何推動電子特氣系統(tǒng)的安裝與應(yīng)用呢。通常而言，特氣輸送系統(tǒng)是將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數(shù)的控制，通過管道、無二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點(diǎn)，其基本流程是：氣源、控制柜、管道傳輸、VMB、用氣點(diǎn)。

　　除了選擇合適的特氣系統(tǒng)之外，還需要打造一個良好的特氣輸送環(huán)境。特氣房一般都獨(dú)立于主場房而單獨(dú)建設(shè)，其規(guī)劃時需考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險物的總量控制等，而且需要有良好的通風(fēng)條件?？筛鶕?jù)氣體性質(zhì)宜分為可燃性氣體間、毒性氣體間/腐蝕性氣體間、惰性氣體間等。其中，低蒸汽壓力特種氣體供應(yīng)設(shè)施應(yīng)盡可能靠近工藝設(shè)備。

　　選擇好特氣房，便是管道系統(tǒng)的設(shè)計。在設(shè)計之前，首先要選好材料，特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道，閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。此次是主管路系統(tǒng)，在確定好氣體房和用氣點(diǎn)以后，主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路最短，拐彎最少的原則，布置緊湊合理，給人簡單美觀的感覺。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機(jī)臺用氣點(diǎn)的多少和流量大小確定。同時管道的設(shè)計要采用零死區(qū)設(shè)計，即整個管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn)，要點(diǎn)對點(diǎn)，中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此，整個管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。最后，管道還要有良好的接地?？傮w而言，管道系統(tǒng)的設(shè)計需充分了解氣體特性、從而合理配置系統(tǒng)，合理選擇管徑和材料，是我們設(shè)計的重點(diǎn)，這樣可顯著降低整個系統(tǒng)的成本。

　　特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實(shí)施嚴(yán)格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質(zhì)量和程序進(jìn)行嚴(yán)格的監(jiān)控和管理。最后整個系統(tǒng)還要進(jìn)行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。其現(xiàn)場基本的施工程序為：施工圖紙會審、施工組織編寫、預(yù)制間的搭設(shè)、施工機(jī)具的準(zhǔn)備、施工人員的培訓(xùn)、預(yù)制圖紙的編寫、管道的預(yù)制、管道的現(xiàn)場安裝、系統(tǒng)檢測和系統(tǒng)驗收等環(huán)節(jié)。

　　作為專業(yè)從事氣體應(yīng)用系統(tǒng)工程的高新技術(shù)企業(yè)，沃飛科技目前已掌握自主研發(fā)的特種氣體生產(chǎn)關(guān)鍵環(huán)節(jié)核心技術(shù)，在氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、管道工程等特種氣體生產(chǎn)關(guān)鍵環(huán)節(jié)形成了自主研發(fā)的核心技術(shù)，致力于為先進(jìn)制造企業(yè)及研發(fā)機(jī)構(gòu)提供高純工藝系統(tǒng)解決方案，業(yè)務(wù)涵蓋了整個系統(tǒng)方案設(shè)計、材料和設(shè)備供應(yīng)、安裝、測試、調(diào)試和系統(tǒng)托管服務(wù)，全力賦能電子特氣行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。