PECVD設(shè)備的scrubber的作用和分類以及安裝位置

PECVD設(shè)備接scrubber是干什么用的？scrubber 一般接在什么位置？下面由沃飛科技來為大家簡(jiǎn)單的講解一下CVD設(shè)備的scrubber的作用和分類以及安裝位置。
Scrubber基本上是專為PECVD設(shè)備的尾氣處理而設(shè)計(jì)的一種設(shè)備，PECVD尾氣一般含有大量Particles以及棘手的未反應(yīng)易爆易燃或有毒氣體排出，Scrubber為降低后端處理的困擾與安全而專門設(shè)計(jì)的設(shè)備。local scrubber專屬PECVD單臺(tái)或多臺(tái)使用,可分為燃燒式, 加熱式, 等離子式, 搭配水洗!

Scrubber設(shè)備的分類

scrubber根據(jù)不同的工藝，產(chǎn)生不同的尾氣；選用不同的處理方式的！

scrubber設(shè)備有電加熱式、燃?xì)馐健⑽绞?、還有一種是用plasma式，其中吸附式要更換吸附桶，使用起來價(jià)格比較高，但維護(hù)起來是最方便的。

一般選用可用加熱水洗式，水洗加熱再水洗式。SiH4在燃燒后會(huì)反應(yīng)成SIO2。NH3與水反應(yīng)會(huì)產(chǎn)生結(jié)晶物。NF3, WF3,SIF4,C2F6的離子鍵會(huì)在燃燒后打開，再跟水反應(yīng)成HF。
Scrubber設(shè)備的安裝位置

Scrubber設(shè)備一般安裝在設(shè)備真空泵pump和廢氣排出總管之間。有毒有害的廢氣經(jīng)過真空泵pump抽壓抽到Scrubber設(shè)備經(jīng)過處理后然后在排到廠務(wù)。
以上就是沃飛科技為大家簡(jiǎn)單講解的關(guān)于CVD設(shè)備的scrubber的作用和分類以及安裝位置，希望能給大家提供參考。

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