半導(dǎo)體工藝廢氣處理方式

依據(jù)廢氣處理的特性,在處理可分為四種處理方式:

1水洗式(處理腐蝕性氣體)

2氧化式(處理燃燒性,毒性氣體

3吸附式(干式)(依照吸附材種類處理對應(yīng)之廢氣

4等離子燃燒式(各類型廢氣皆可處理)

各類型之處理皆有其優(yōu)缺點及其適用范圍.如表一所示.

處理方式 適用范圍 優(yōu)點 缺點

水洗時 設(shè)備便宜處理方式簡單 僅能處理水溶性氣體

電熱水洗式 應(yīng)用范圍較水洗時廣 運轉(zhuǎn)成本高

干式 處理效率佳 不適用于容易堵塞或氣體流量較大的工藝;運轉(zhuǎn)成本高 等離子式 處理效率佳 成本高,不適用于粉塵過多之工藝，

其中 （1）水洗式廢氣處理是最便宜的簡單的處理方式,但只能處理水溶性氣體;目前這類設(shè)備用得相當(dāng)廣泛，如MOCVD，PECVD，ICP等設(shè)備用NH3 Cl2，BCL3都用得到.

(2)氧化式廢氣處理則是利用高溫(火焰燃燒或者熱電偶加熱),使氣體達到氧化所需溫度,轉(zhuǎn)變?yōu)闆]有危害性之氣體再排放,應(yīng)用范圍較水洗式廣泛,但建造成本及運轉(zhuǎn)成本也較水洗式高;此類設(shè)備在PECVD上用得很廣泛，如用到SiH4，PH3，B2H6，H2 ，CH4甚至NF3都可用此類設(shè)備處理。

(3)吸附式則依照所需處理的廢氣種類,使用不同材質(zhì)的吸附料,讓廢氣通過吸附劑轉(zhuǎn)變?yōu)闆]有危害性的氣體再排放,此類系統(tǒng)的廢氣處理效率佳,但由于吸附劑讓氣體通過的通道由孔隙大小的限制,以及每組吸附劑都有其吸附處理的極限流量,因此不適用于容易堵塞或者氣體流量較大的工藝中,而導(dǎo)致吸附劑需經(jīng)常更換,使運轉(zhuǎn)成本更高;

(4)等離子式,其廢氣處理范圍最廣,處理效率佳,唯獨其成本較高,且同樣不適用于粉塵過多之工藝.

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