氣體管道工程led光電行業(yè)的應(yīng)用。特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅 薄膜太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過(guò)程不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定 技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準(zhǔn)確性。

       在LED產(chǎn)業(yè)鏈中，外延技術(shù)、設(shè)備和材料是外延片制造技術(shù)的關(guān)鍵。實(shí)踐證明，MOCVD是適合生長(zhǎng)外延片的良好技術(shù)，也是一種工業(yè)化的實(shí)用技術(shù)。當(dāng)前，MOCVD工藝已成為制造絕大多數(shù)光電子材料的基本技術(shù)。外延技術(shù)需要的超純特種氣體包括高純砷烷、高純磷烷、高純氨氣，砷化鎵生產(chǎn)中應(yīng)用硅烷N型摻 雜，而氣化氫和氣氣常常用做蝕刻氣，氬、氫.氮?jiǎng)t是必須的載氣。同時(shí)外延生長(zhǎng)需要的有機(jī)源主要是三甲基鎵，三甲基銦，三甲基鋁，二乙基鋅，二甲基鋅，二茂 鎂等?，F(xiàn)有技術(shù)的發(fā)展對(duì)這些產(chǎn)品的品質(zhì)要求也越來(lái)越高。

       隨著化合物半導(dǎo)體技術(shù)的日益成熟和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程的加快，外延技術(shù)需要的超純特種氣體和有機(jī)源的研制和制造技術(shù)不斷提升。主要表現(xiàn)在:氣體和有機(jī)源的深度純 化技術(shù);氣瓶及管路內(nèi)壁的潔凈處理技術(shù);ppm、ppb、ppt氣體雜質(zhì)檢測(cè)技術(shù);ppb、ppt級(jí)金屬雜質(zhì)的凈化控制及分析檢測(cè)技術(shù);排放尾氣的解毒報(bào) 警技術(shù);一體化無(wú)污染供氣系統(tǒng)的建立;特種氣體混合氣的配制技術(shù);配套器件技術(shù)以及0.01~0.002um顆粒的測(cè)試過(guò)濾技術(shù)等。為了適應(yīng)日益發(fā)展的下 游產(chǎn)業(yè)的發(fā)展需要，特種氣體生產(chǎn)商在產(chǎn)品純化、灌裝、檢測(cè)等環(huán)節(jié)取得更多的創(chuàng)新技術(shù)。

       特種氣體的發(fā)展趨勢(shì)也伴隨光電子、微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展不斷更新、進(jìn)步。主要表現(xiàn)為產(chǎn)品品種的不斷增加，新型半導(dǎo)體材料的出現(xiàn)，代之而來(lái)的是新一代支撐材料 的需求，特種氣體生產(chǎn)廠家緊緊圍繞下游芯片廠的需求，不斷推出符合半導(dǎo)體工藝的新品種;同時(shí)特種氣體質(zhì)量不斷提高，以LED產(chǎn)業(yè)用量最大的氨氣為例，高純 氨產(chǎn)品的純度由最初的技術(shù)指標(biāo)要求電子級(jí)(5N)到兆位一級(jí)(5.5N)、兆位二級(jí)(5.7N)發(fā)展到市場(chǎng)廣泛應(yīng)用在氨化鎵生產(chǎn)中的藍(lán)氨(6.4N)，目 前氮化鎵技術(shù)需求的高純氨技術(shù)指標(biāo)純度超過(guò)99.99999%，業(yè)界已經(jīng)認(rèn)可的白氨已經(jīng)完全商品化;由于產(chǎn)品中雜質(zhì)如水份、碳?xì)饣衔锏暮吭谔胤N氣體純 度中都有嚴(yán)格限制，但絕大多數(shù)特殊氣體因化學(xué)活性大，所以不容易保持其純度，因此氣體的純度、供氣系統(tǒng)的保證便成為半導(dǎo)體廠要求品質(zhì)和經(jīng)濟(jì)性的關(guān)鍵。為避 免化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中頻繁更換過(guò)程氣體瓶，保證盡可能少引入雜質(zhì)，氣體的充裝容器規(guī)格趨向大體積，產(chǎn)品包裝的集裝化，在具備條件的工廠還可以直接建設(shè),氣體輸送管道，保證特種氣體的供應(yīng)質(zhì)量穩(wěn)定。

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