無(wú)論是從國(guó)家出臺(tái)的新政策，還是芯片行業(yè)的國(guó)際形勢(shì)，都可以看出半導(dǎo)體芯片行業(yè)要大力發(fā)展的趨勢(shì)，生產(chǎn)中尾氣廢氣的處理問(wèn)題日益突出，外延工藝中尾氣處理設(shè)備local scrubber的使用也將成為一種常見(jiàn)的現(xiàn)象。

其中處理廢氣尾氣無(wú)明火，無(wú)塵室中不產(chǎn)生火源的吸附式尾氣處理設(shè)備，是半導(dǎo)體制程外延工藝中尾氣處理的常用設(shè)備，通過(guò)吸附材吸附治理廢氣中需處理的氣體部分，再通過(guò)變色球上的指示劑來(lái)檢驗(yàn)廢氣的排放是否合格。

變色球指示劑的檢驗(yàn)原理：

指示劑是利用載體（活性氧化鋁）的吸附能力將變色藥劑附著在載體的表面，所以變色球的顏色就會(huì)隨著氫鍵之濃度增加度的不同產(chǎn)生顏色的變化。

當(dāng)制程氣體未破出前，通過(guò)的氣體是中性氣體不會(huì)含有氫鍵，所以變色球的顏色不會(huì)變化；制程氣體破出后，通過(guò)的氣體含有H而產(chǎn)生顏色變化（PFCs是中性氣體不會(huì)改變變色球的顏色，所以PFCs氣體的破出不能用變色球來(lái)辨別）。

上圖便是變色球指示劑在不同濃度下的顏色變化，可以通過(guò)變色球的顏色來(lái)檢驗(yàn)廢氣處理效果和判斷吸附材是否還有效，從而保證尾氣處理設(shè)備local scrubber的吸附效率和效果，實(shí)現(xiàn)特氣廢氣的治理，避免環(huán)境遭受污染。

以上，便是關(guān)于外延工藝尾氣處理設(shè)備local scrubber的簡(jiǎn)單介紹，感謝您的閱讀！