隨著制程技術不斷演進，使得相關供應系統(tǒng)等級及質量日趨精密且復雜，其廢氣問題也越發(fā)凸顯，如毒性氣體、化學藥品等所產生的廢氣，便是造成環(huán)境惡化的來源之一，因此，如何處理此類高純度且大量的毒性物質之排放，是尾氣處理設備和廢氣治理的重要工作與任務。

坤化氫AsH?，也稱砷烷，是一種無色劇毒氣體，常用于半導體工業(yè)中，如外延硅的N型摻雜、硅中N型擴散、離子注入、生長砷化鎵（GaAs）、磷砷化鎵（GaAsP）以及與某些元素形成化合物半導體。 

坤化氫對人體的危害性：

砷化氫是強烈的溶血性毒物，砷化氫中毒程度與吸入砷化氫的濃度密切相關，潛伏期愈短則臨床表現(xiàn)愈嚴重。輕度中毒有頭暈、頭痛、乏力、惡心、嘔吐等癥狀；重度中毒發(fā)病急劇，有高熱、昏迷、抽搐、急性腎功能衰竭及全身重度黃疸等癥狀；對心、肝、肺等也有直接的毒害作用。 

對于坤化氫AsH?的廢氣處理可采用吸附式尾氣處理設備，有吸附效率好、無高耗能需求、無塵室不產生火源等特點；同時設備各管路進、出口設計壓力、溫度、CDA流量、N2流量傳感器，針對設備運行時各種狀況，全面監(jiān)控；確保尾氣處理的安全性處理過程中沒有危害。

綜上，如坤化氫AsH?此類物質的高純度廢氣排放會對環(huán)境和周邊人員的生命安全造成很大的影響，所以，在排放前應經尾氣處理設備進行處理后方可排放。關于坤化氫AsH?廢氣尾氣處理設備的介紹就到這了，感謝您的閱讀！